经典款——检测精度高，并在扫描范围、运动性能、整机尺寸等各方面均衡配置，适合中小零件的抽样检测，失效分析，工艺改进，材料定性分析。配置自动上下水及水循环过滤系统 ，可用于车间或者理化实验室。

主要配置：

高度集成的设计理念；

悬臂式三轴运动台、全封闭防护；

万能夹具、一键校准、远程协助等；

自动上下水及水循环净化系统；

应用领域

通用型——经过了6代迭代优化，设计成熟，满足半导体、集成电路、IGBT模组、低压电器、金刚石刀具等多个行业的普遍应用需求。

产品参数

1、工作电源：220V/50Hz，2KW；

2、最大扫描范围：350mm×200mm×110mm；

3、整机尺寸：1350mm×950mm×1300mm；

4、探头频率范围：1~50MHz；（标配，可升级至230MHz）；

5、图像推荐分辨率：0.5um ~ 4000um；

6、典型扫描耗时：<70s （测试条件：扫描区域10mmX10mm，分辨率50um)；

7、最大扫描速度: 300mm/s；最大扫描加速度：0.8m/s2；

8、运动台定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重复定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm；

9、每通道可调增益：-13~66dB;（标配，可升级）；脉冲重复频率：5kHz；（标配，可升级）。